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    六氟丁二烯

    分子式:C4F6
    分子量:162
    CAS 號:685-63-2

    項目 指標
    外 觀 無色,不渾濁
    六氟丁二烯含量 ≥98%
    水份 <50PPm(V)
    N2 <80PPm(V)
    O2 <20PPm(V)
    CO2 <20PPm(V)


    性 狀: 易燃、有毒、無色、無味的剛瓶裝液化壓縮氣體,吸入有害,與空氣混合后,濃度達到7%時,有立即燃燒和爆炸危險
    用 途: 半導體的等離子蝕刻,優良的干蝕刻氣體。含氟橡膠、合成含氟彈性體和電性能優良的樹脂
    貯 存: 貯存在陰涼通風處,容器保持密閉。貯存在原容器中的溫度不超過50℃。避免陽光直射。注意不要與氧化劑一起混貯。遠離煙火。
    運 輸: 按照壓縮氣體和液化氣體有毒氣體標準運輸
    包 裝: 10L或47L鋼瓶壓縮包裝, 或依客戶要求包裝

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